真空度显示：显示腔体内部的真空度数值

运行程序段：分为3个步骤，绿色表示运行状态

①真空泵启动②射频电源打开③放气

进气流量显示：通过调节A、B流量调节阀调节气体进入腔体的大小，在两个图标显示，上部显示为A流量，下部显示为B流量

时间：显示设备清洗时间

功率:显示当前设备清洗是清洗功率

设备温度：显示当前射频电源设备温度

放气状态：显示当前放气阀开启或关闭状态

清洗时间：点击可设置设备运行清洗时间

清洗功率：点击可设置设备运行清洗功率

开始运行：点击可切换设备开始运行或者停止运行

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